Публикация сотрудников ВШЭиМТ в IEEE Sensors Journal

14 Марта 2024
639
Новости
Публикация сотрудников ВШЭиМТ в IEEE Sensors Journal

В журнале IEEE Sensors Journal (Q1) опубликована статья «MEMS Pressure Sensors Design, Simulation, Manufacturing, Interface Circuits: A Review» сотрудников ЦНИИ «Электроприбор» А. Т. Тулаева, А. С. Козлова и Я. В. Беляева в соавторстве с сотрудниками ВШЭиМТ А. С. Коротковым, В. В. Лободой, М. А. Беллавиным.

Авторами рассмотрены технологии изготовления и методы проектирования датчиков давления с использованием различных материалов чувствительных элементов (ЧЭ). Проведен сравнительный анализ различных методов считывания выходного сигнала и схем обработки. Представлены перспективные подходы к проектированию и разработке датчиков давления на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС). Доказано, что основным этапом проектирования является моделирование входных характеристик датчиков давления, которое осуществляется численными методами. Моделирование позволяет исследователям определить выходные характеристики МЭМС-датчиков давления, такие как чувствительность, линейность и диапазон измеряемых давлений.

Работа является примером многогранного сотрудничества ВШЭиМТ и ЦНИИ «Электроприбор», которое проходит в форме совместных инженерных и научных проектов. Предприятие также является местом производственной практики студентов и трудоустройства выпускников.