1. «Технология микроэлектронного производства. Микроэлектронный термоэлектрический генератор»
Руководитель проекта:
Коротков Александр Станиславович, д.т.н., профессор (korotkov@spbstu.ru)
О проекте:
Исследуются вопросы построения альтернативных источников энергии на основе энергособирающих устройств (Energy Harvesters) для сенсорных узлов беспроводных систем мониторинга состояния объектов, в частности двигателей. Перспективным видом энергособирающих устройств является термоэлектрический генератор (ТЭГ). Особым фактором, способствующим развитию техники ТЭГ, стало внедрение технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). ТЭГ на основе МЭМС технологии – структура упорядоченных областей полупроводниковых материалов, созданных на поверхности твердого тела в виде систем субмикронного размера, статические свойства которых обеспечивают реализацию процессов генерации, преобразования и передачи энергии. В проекте разработаны теоретические основы и технология микроэлектронного производства термоэлектрических генераторов на основе эффекта Зеебека для диапазона температур 150 – 200оС. Полученные результаты соответствуют параметрам ТЭГ, производимых компаниями Micropelt, Германия, Nextreme, США, GreenTEG, Германия. Результаты достигнуты в РФ впервые и соответствуют мировому уровню.